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Wie man Halbleiterabwasser behandelt: Trennung, chemische Behandlung und Wiederverwendung von Wasser

Wie man Halbleiterabwasser behandelt: Trennung, chemische Behandlung und Wiederverwendung von Wasser

2026-07-23
Halbleiterabwasserbehandlung

Wie man Halbleiterabwasser behandelt: Trennung, chemische Behandlung und Wasserwiederverwendung

Halbleiterabwasser ist keine einzelne Art von Industrieabwasser. Eine Halbleiteranlage kann fluoridhaltiges Wasser, saure und alkalische Ströme, Ammoniakabwasser, organisches Abwasser, CMP-Slurry-Abwasser und Abwasser, das Kupfer, Nickel oder andere Metalle enthält, ableiten.

Diese Ströme haben unterschiedliche chemische Eigenschaften und sollten nicht mit einem universellen Behandlungsverfahren behandelt werden.

Identifizieren Sie die Quelle, trennen Sie das Abwasser, wählen Sie das geeignete Behandlungsverfahren und optimieren Sie das chemische Programm durch Labortests.
01

Beginnen Sie mit dem Produktionsprozess

Bevor ein Abwasserbehandlungssystem entworfen oder optimiert wird, sollten die Betreiber die Produktionsquelle, die chemische Zusammensetzung und die nachgeschalteten Auswirkungen jedes Abwasserstroms identifizieren.

Quelle und Chemie

  • Welcher Herstellungsprozess erzeugt das Abwasser
  • Welche Chemikalien werden in diesem Prozess verwendet
  • Enthält der Strom Komplexbildner

Prozessstabilität

  • Schwankt das Abwasser zwischen Produktionschargen
  • Welche Verunreinigungen beeinträchtigen nachgeschaltete Systeme

Rückgewinnung und Wiederverwendung

  • Können wertvolle Materialien zurückgewonnen werden
  • Kann das behandelte Wasser wiederverwendet werden
Diese produktionsbasierte Analyse ist effektiver als die Anpassung von Chemikalien erst, nachdem gemischtes Abwasser die endgültige Behandlungseinheit erreicht hat.
02

Empfohlene Klassifizierung von Halbleiterabwasser

Ein praktisches Klassifizierungssystem trennt Abwasser nach seinen dominanten Verunreinigungen und dem erforderlichen Behandlungsmechanismus.

Abwasserstrom Typische Verunreinigungen Gängiger Behandlungsansatz
Fluoridabwasser Fluoridionen, Säuren und feine Niederschläge Calciumsalzfällung, Koagulation und Flockung
Saures und alkalisches Abwasser Mineralsäuren, Laugen und gelöste Salze Pufferung und Neutralisation
Ammoniakabwasser Ammoniakstickstoff und alkalische Verbindungen Strippen, biologische Stickstoffentfernung oder kombinierte Behandlung
Organisches Abwasser Fotolack, Entwickler, Lösungsmittel und Tenside Physikochemische Vorbehandlung und biologische Behandlung
CMP-Abwasser Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Ceroxid, Metallpartikel und Polierchemikalien Koagulation, Flockung, Klärung und Filtration
Schwermetallabwasser Kupfer, Nickel und andere Metalle Chemische Fällung, Metallabscheidung oder Ionenaustausch
Spülwasser mit geringer Kontamination Geringe suspendierte Feststoffe und gelöste Verunreinigungen Membranbehandlung und Wasserwiederverwendung
Fluoridabwasser
VerunreinigungenFluoridionen, Säuren und feine Niederschläge
BehandlungCalciumsalzfällung, Koagulation und Flockung
Saures und alkalisches Abwasser
VerunreinigungenMineralsäuren, Laugen und gelöste Salze
BehandlungPufferung und Neutralisation
Ammoniakabwasser
VerunreinigungenAmmoniakstickstoff und alkalische Verbindungen
BehandlungStrippen, biologische Stickstoffentfernung oder kombinierte Behandlung
Organisches Abwasser
VerunreinigungenFotolack, Entwickler, Lösungsmittel und Tenside
BehandlungPhysikochemische Vorbehandlung und biologische Behandlung
CMP-Abwasser
VerunreinigungenSiliziumdioxid, Aluminiumoxid, Ceroxid, Metallpartikel und Polierchemikalien
BehandlungKoagulation, Flockung, Klärung und Filtration
Schwermetallabwasser
VerunreinigungenKupfer, Nickel und andere Metalle
BehandlungChemische Fällung, Metallabscheidung oder Ionenaustausch
Spülwasser mit geringer Kontamination
VerunreinigungenGeringe suspendierte Feststoffe und gelöste Verunreinigungen
BehandlungMembranbehandlung und Wasserwiederverwendung
03

Behandlung von Fluoridabwasser

Fluoridhaltiges Abwasser ist einer der häufigsten Ströme in der Waferfertigung.

Calciumhydroxid, Calciumchlorid oder andere Calcium-basierte Reagenzien können zugesetzt werden, um gelöstes Fluorid in Calciumfluorid-Niederschläge umzuwandeln.

Neu gebildete Calciumfluoridpartikel können jedoch klein sein und schwer absetzbar. Koagulationsmittel und Flockungsmittel werden daher häufig zur Verbesserung der Fest-Flüssig-Trennung eingesetzt.

Wichtigstes Betriebsprinzip

Der optimale pH-Wert und die chemische Dosierung sollten durch Tests bestätigt werden, da die Abwasserzusammensetzung zwischen den Produktionslinien variieren kann.

01Abwasserpufferung
02pH-Einstellung
03Zugabe von Calciumreagenz
04Reaktion und Fällung
05Zugabe von Koagulationsmittel
06Polyacrylamid-Flockung
07Klärung oder Flotation mit gelöster Luft
08Schlammeindickung und -entwässerung
04

Behandlung von CMP-Abwasser

CMP-Abwasser enthält extrem feine abrasive Partikel wie Siliziumdioxid, Aluminiumoxid oder Ceroxid. Diese Partikel können suspendiert bleiben, da ihre Oberflächen ähnliche elektrische Ladungen tragen.

Stufe 1

Ladungsneutralisation

Ein kationisches Koagulationsmittel kann die Partikelabstoßung reduzieren und die Suspension destabilisieren.

  • PolyDADMAC
  • Polyamin
  • Polyaluminiumchlorid
  • Andere anorganische oder organische Koagulationsmittel
Stufe 2

Flockenbildung

Nach der Destabilisierung kann Polyacrylamid die feinen Partikel überbrücken und größere Flocken bilden, die leichter absetzen oder aufschwimmen.

Starkes Mischen wird normalerweise verwendet, um das Koagulationsmittel zu dispergieren, während langsameres Mischen es den Flocken ermöglicht, zu wachsen, ohne zerbrochen zu werden.

05

Behandlung von Schwermetallabwasser

Schwermetallabwasser kann Kupfer, Nickel, Zink oder andere Metalle aus Galvanik-, Ätz-, Verpackungs- und IC-Substratprozessen enthalten.

Die konventionelle Behandlung beinhaltet normalerweise die Einstellung des pH-Werts, so dass sich gelöste Metalle in unlösliche Hydroxide umwandeln. Anschließend werden Koagulation und Flockung verwendet, um die ausgefällten Partikel zu entfernen.

Warum konventionelle Fällung fehlschlagen kann

EDTA, Ammoniak, Citrat oder andere Komplexbildner können Metalle gelöst halten und die Fällungseffizienz verringern.

Zusätzliche Behandlungsoptionen

  • Brechen oder Schwächen von Metallkomplexen
  • Spezialisierte Schwermetall-Abscheidemittel
  • Sulfidbasierte Fällung
  • Ionenaustausch oder selektive Adsorption
  • Membrankonzentration
  • Metallrückgewinnungstechnologien
Bluwat Schwermetall-Abscheidemittel können für Abwasser bewertet werden, bei denen die konventionelle Hydroxidfällung nicht konstant die erforderliche Metallkonzentration erreicht.
06

Behandlung von saurem, alkalischem und Ammoniakabwasser

Saures und alkalisches Abwasser

Saures und alkalisches Abwasser wird im Allgemeinen durch Pufferung und Neutralisation behandelt.

Die Neutralisation sollte schrittweise mit ausreichender Mischung erfolgen. Das Überschreiten des Ziel-pH-Werts kann den Chemikalienverbrauch erhöhen und bestimmte Verunreinigungen wieder auflösen.

Warum die pH-Kontrolle wichtig ist

  • Metallfällung
  • Fluoridentfernung
  • Koagulationseffizienz
  • Polymerleistung
  • Stabilität der biologischen Behandlung

Ammoniak-Stickstoff-Abwasser

Niedrige bis moderate Konzentrationen können biologisch durch Nitrifikation und Denitrifikation behandelt werden. Hochkonzentrierte Ströme erfordern möglicherweise Ammoniakstrippen oder eine separate Vorbehandlung.

Stabiler pH-Wert, Alkalinität, Temperatur und gelöster Sauerstoff sind wichtig. Toxische organische Stoffe und hohe Salzgehalte sollten ebenfalls überwacht werden.

07

Behandlung von organischem Abwasser

Organisches Halbleiterabwasser kann enthalten:

  • Fotolackreste
  • Entwickler
  • Lösungsmittel
  • Tenside
  • Reinigungschemikalien
  • Isopropanol
  • Andere gelöste organische Verbindungen

Auswahl der Behandlung

Biologisch abbaubares Abwasser kann nach Pufferung und pH-Einstellung durch biologische Verfahren behandelt werden.

Ströme mit hohen Konzentrationen an Lösungsmitteln, toxischen Verbindungen oder schlecht biologisch abbaubaren organischen Stoffen erfordern möglicherweise eine physikochemische Vorbehandlung, fortschrittliche Oxidation oder eine separate Rückgewinnung.

Koagulationsmittel können helfen, kolloidale und teilweise unlösliche organische Stoffe zu entfernen, aber es sollte nicht erwartet werden, dass sie alle gelösten organischen Verunreinigungen entfernen.

08

Schlammentwässerung

Die Behandlung von Halbleiterabwasser kann Schlamm erzeugen, der Calciumfluorid, Metallhydroxide, CMP-Partikel, anorganische Koagulationsmittel-Niederschläge und biologische Feststoffe enthält.

Typische Entwässerungsgeräte

  • Filterpressen
  • Bandfilterpressen
  • Zentrifugen
  • Schneckenpressen

Ziel der Polymerauswahl

Kationisches oder anionisches Polyacrylamid kann je nach Schlammzusammenstellung und Entwässerungsgerät ausgewählt werden.

Das richtige Produkt sollte starke Flocken, klare Filtrate, schnellere Drainage und geringere Schlammfeuchtigkeit liefern.

Die niedrigste Polymerdosierung ist nicht immer die wirtschaftlichste Wahl. Die gesamten Schlammhandhabungs- und Entsorgungskosten sollten berücksichtigt werden.
09

Möglichkeiten zur Wasserwiederverwendung

Nicht jedes Halbleiterabwasser sollte demselben endgültigen Ableitungssystem zugeführt werden. Relativ sauberes Spülwasser und behandeltes Prozesswasser können durch eine gestufte Behandlungsstrecke zurückgewonnen werden.

Vorbehandlung

Klärung, Multimediafiltration oder Patronenfiltration.

Membrantrennung

Ultrafiltration und Umkehrosmose.

Fortschrittliche Nachbehandlung

Fortschrittliche Nachbehandlung, Desinfektion oder Oxidation, wo erforderlich.

Potenzielle Wiederverwendung

Kühltürme, Wäscher, Anlagenreinigung, Versorgungssysteme oder Speisewasser für weitere Reinigung.

10

Auswahl von Wasserbehandlungschemikalien

Bei der Auswahl der Chemikalien sollte das vollständige Behandlungsziel und nicht der Kilogrammpreis berücksichtigt werden.

Erforderliche Dosierung
Flockengröße und -stärke
Absetzgeschwindigkeit
Klarheit des Überstands
Schlammvolumen
Schlammfeuchtigkeit
Auswirkung auf die Leitfähigkeit
Membrankompatibilität
Restmetallkonzentration
Chargenübergreifende Stabilität

Bluwat Chemicals kann verschiedene Qualitäten von PAC, PolyDADMAC, Polyamin, Polyacrylamid und Schwermetall-Abscheidemitteln für die Laborevaluierung liefern.

11

Empfohlenes Rührglas-Testverfahren

Ein Labortest im Rührglas kann helfen, die effektivste Chemikalienkombination für jeden getrennten Abwasserstrom zu identifizieren.

Sammeln Sie repräsentatives Abwasser von der tatsächlichen Produktionslinie.
Messen Sie pH-Wert, Trübung, suspendierte Feststoffe und Hauptverunreinigungen.
Stellen Sie den pH-Wert gemäß den Zielbedingungen für Fällung oder Koagulation ein.
Geben Sie das ausgewählte Koagulationsmittel unter schnellem Mischen hinzu.
Geben Sie verdünntes PAM hinzu und reduzieren Sie die Mischgeschwindigkeit.
Beobachten Sie die Flockenbildung, die Absetzgeschwindigkeit und die Klarheit des Überstands.
Testen Sie das behandelte Wasser auf Fluorid, Metalle, CSB oder andere Zielparameter.
Vergleichen Sie die Gesamtkosten der Behandlung und die Schlammeigenschaften.
Das Verfahren sollte je nach Abwasserart angepasst werden. Metall- oder Fluoridfällung muss erfolgen, bevor die endgültige Flockungswirkung bewertet wird.
12

Bluwat Chemische Lösungen für Halbleiterabwasser

Polyaluminiumchlorid

Wird für Koagulation, Entfernung von suspendierten Feststoffen, Klärung und Behandlung bestimmter Fluorid- oder CMP-Abwasserströme verwendet.

PolyDADMAC

Ein kationisches organisches Koagulationsmittel mit hoher Ladung, das zur Ladungsneutralisation, Destabilisierung von Feinpartikeln und Klärung verwendet wird.

Polyamin

Geeignet für Koagulation und die Entfernung bestimmter kolloidaler oder organischer Verunreinigungen.

Polyacrylamid

Erhältlich in anionischen, kationischen und nichtionischen Qualitäten für Flockung, Klärung, Schlammeindickung und -entwässerung.

Schwermetall-Abscheidemittel

Entwickelt zur Unterstützung der Entfernung von Kupfer, Nickel und anderen Schwermetallen, insbesondere dort, wo die konventionelle Fällung allein nicht ausreicht.

Entschäumer

Wird zur Schaumkontrolle in Puffertanks, biologischen Behandlungseinheiten und anderen Abwasserprozessen verwendet.

Schlussfolgerung

Eine effektive Behandlung von Halbleiterabwasser hängt von der Verbindung zwischen Produktion und Wassermanagement ab.

Fluorid, CMP-Partikel, organische Schadstoffe, Ammoniak und Schwermetalle verhalten sich unterschiedlich und erfordern unterschiedliche Behandlungsstrategien. Eine getrennte Sammlung kann den Chemikalienverbrauch senken, die Behandlungsstabilität verbessern, die Ressourcengewinnung unterstützen und mehr Möglichkeiten für die Wasserwiederverwendung schaffen.

Bluwat Chemicals unterstützt Projekte zur Behandlung von Halbleiterabwasser durch Chemikalienauswahl, Probenprüfung und Dosierungsoptimierung für anspruchsvolle Industrieabwässer.

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Wie man Halbleiterabwasser behandelt: Trennung, chemische Behandlung und Wiederverwendung von Wasser

Wie man Halbleiterabwasser behandelt: Trennung, chemische Behandlung und Wiederverwendung von Wasser

Halbleiterabwasserbehandlung

Wie man Halbleiterabwasser behandelt: Trennung, chemische Behandlung und Wasserwiederverwendung

Halbleiterabwasser ist keine einzelne Art von Industrieabwasser. Eine Halbleiteranlage kann fluoridhaltiges Wasser, saure und alkalische Ströme, Ammoniakabwasser, organisches Abwasser, CMP-Slurry-Abwasser und Abwasser, das Kupfer, Nickel oder andere Metalle enthält, ableiten.

Diese Ströme haben unterschiedliche chemische Eigenschaften und sollten nicht mit einem universellen Behandlungsverfahren behandelt werden.

Identifizieren Sie die Quelle, trennen Sie das Abwasser, wählen Sie das geeignete Behandlungsverfahren und optimieren Sie das chemische Programm durch Labortests.
01

Beginnen Sie mit dem Produktionsprozess

Bevor ein Abwasserbehandlungssystem entworfen oder optimiert wird, sollten die Betreiber die Produktionsquelle, die chemische Zusammensetzung und die nachgeschalteten Auswirkungen jedes Abwasserstroms identifizieren.

Quelle und Chemie

  • Welcher Herstellungsprozess erzeugt das Abwasser
  • Welche Chemikalien werden in diesem Prozess verwendet
  • Enthält der Strom Komplexbildner

Prozessstabilität

  • Schwankt das Abwasser zwischen Produktionschargen
  • Welche Verunreinigungen beeinträchtigen nachgeschaltete Systeme

Rückgewinnung und Wiederverwendung

  • Können wertvolle Materialien zurückgewonnen werden
  • Kann das behandelte Wasser wiederverwendet werden
Diese produktionsbasierte Analyse ist effektiver als die Anpassung von Chemikalien erst, nachdem gemischtes Abwasser die endgültige Behandlungseinheit erreicht hat.
02

Empfohlene Klassifizierung von Halbleiterabwasser

Ein praktisches Klassifizierungssystem trennt Abwasser nach seinen dominanten Verunreinigungen und dem erforderlichen Behandlungsmechanismus.

Abwasserstrom Typische Verunreinigungen Gängiger Behandlungsansatz
Fluoridabwasser Fluoridionen, Säuren und feine Niederschläge Calciumsalzfällung, Koagulation und Flockung
Saures und alkalisches Abwasser Mineralsäuren, Laugen und gelöste Salze Pufferung und Neutralisation
Ammoniakabwasser Ammoniakstickstoff und alkalische Verbindungen Strippen, biologische Stickstoffentfernung oder kombinierte Behandlung
Organisches Abwasser Fotolack, Entwickler, Lösungsmittel und Tenside Physikochemische Vorbehandlung und biologische Behandlung
CMP-Abwasser Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Ceroxid, Metallpartikel und Polierchemikalien Koagulation, Flockung, Klärung und Filtration
Schwermetallabwasser Kupfer, Nickel und andere Metalle Chemische Fällung, Metallabscheidung oder Ionenaustausch
Spülwasser mit geringer Kontamination Geringe suspendierte Feststoffe und gelöste Verunreinigungen Membranbehandlung und Wasserwiederverwendung
Fluoridabwasser
VerunreinigungenFluoridionen, Säuren und feine Niederschläge
BehandlungCalciumsalzfällung, Koagulation und Flockung
Saures und alkalisches Abwasser
VerunreinigungenMineralsäuren, Laugen und gelöste Salze
BehandlungPufferung und Neutralisation
Ammoniakabwasser
VerunreinigungenAmmoniakstickstoff und alkalische Verbindungen
BehandlungStrippen, biologische Stickstoffentfernung oder kombinierte Behandlung
Organisches Abwasser
VerunreinigungenFotolack, Entwickler, Lösungsmittel und Tenside
BehandlungPhysikochemische Vorbehandlung und biologische Behandlung
CMP-Abwasser
VerunreinigungenSiliziumdioxid, Aluminiumoxid, Ceroxid, Metallpartikel und Polierchemikalien
BehandlungKoagulation, Flockung, Klärung und Filtration
Schwermetallabwasser
VerunreinigungenKupfer, Nickel und andere Metalle
BehandlungChemische Fällung, Metallabscheidung oder Ionenaustausch
Spülwasser mit geringer Kontamination
VerunreinigungenGeringe suspendierte Feststoffe und gelöste Verunreinigungen
BehandlungMembranbehandlung und Wasserwiederverwendung
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Behandlung von Fluoridabwasser

Fluoridhaltiges Abwasser ist einer der häufigsten Ströme in der Waferfertigung.

Calciumhydroxid, Calciumchlorid oder andere Calcium-basierte Reagenzien können zugesetzt werden, um gelöstes Fluorid in Calciumfluorid-Niederschläge umzuwandeln.

Neu gebildete Calciumfluoridpartikel können jedoch klein sein und schwer absetzbar. Koagulationsmittel und Flockungsmittel werden daher häufig zur Verbesserung der Fest-Flüssig-Trennung eingesetzt.

Wichtigstes Betriebsprinzip

Der optimale pH-Wert und die chemische Dosierung sollten durch Tests bestätigt werden, da die Abwasserzusammensetzung zwischen den Produktionslinien variieren kann.

01Abwasserpufferung
02pH-Einstellung
03Zugabe von Calciumreagenz
04Reaktion und Fällung
05Zugabe von Koagulationsmittel
06Polyacrylamid-Flockung
07Klärung oder Flotation mit gelöster Luft
08Schlammeindickung und -entwässerung
04

Behandlung von CMP-Abwasser

CMP-Abwasser enthält extrem feine abrasive Partikel wie Siliziumdioxid, Aluminiumoxid oder Ceroxid. Diese Partikel können suspendiert bleiben, da ihre Oberflächen ähnliche elektrische Ladungen tragen.

Stufe 1

Ladungsneutralisation

Ein kationisches Koagulationsmittel kann die Partikelabstoßung reduzieren und die Suspension destabilisieren.

  • PolyDADMAC
  • Polyamin
  • Polyaluminiumchlorid
  • Andere anorganische oder organische Koagulationsmittel
Stufe 2

Flockenbildung

Nach der Destabilisierung kann Polyacrylamid die feinen Partikel überbrücken und größere Flocken bilden, die leichter absetzen oder aufschwimmen.

Starkes Mischen wird normalerweise verwendet, um das Koagulationsmittel zu dispergieren, während langsameres Mischen es den Flocken ermöglicht, zu wachsen, ohne zerbrochen zu werden.

05

Behandlung von Schwermetallabwasser

Schwermetallabwasser kann Kupfer, Nickel, Zink oder andere Metalle aus Galvanik-, Ätz-, Verpackungs- und IC-Substratprozessen enthalten.

Die konventionelle Behandlung beinhaltet normalerweise die Einstellung des pH-Werts, so dass sich gelöste Metalle in unlösliche Hydroxide umwandeln. Anschließend werden Koagulation und Flockung verwendet, um die ausgefällten Partikel zu entfernen.

Warum konventionelle Fällung fehlschlagen kann

EDTA, Ammoniak, Citrat oder andere Komplexbildner können Metalle gelöst halten und die Fällungseffizienz verringern.

Zusätzliche Behandlungsoptionen

  • Brechen oder Schwächen von Metallkomplexen
  • Spezialisierte Schwermetall-Abscheidemittel
  • Sulfidbasierte Fällung
  • Ionenaustausch oder selektive Adsorption
  • Membrankonzentration
  • Metallrückgewinnungstechnologien
Bluwat Schwermetall-Abscheidemittel können für Abwasser bewertet werden, bei denen die konventionelle Hydroxidfällung nicht konstant die erforderliche Metallkonzentration erreicht.
06

Behandlung von saurem, alkalischem und Ammoniakabwasser

Saures und alkalisches Abwasser

Saures und alkalisches Abwasser wird im Allgemeinen durch Pufferung und Neutralisation behandelt.

Die Neutralisation sollte schrittweise mit ausreichender Mischung erfolgen. Das Überschreiten des Ziel-pH-Werts kann den Chemikalienverbrauch erhöhen und bestimmte Verunreinigungen wieder auflösen.

Warum die pH-Kontrolle wichtig ist

  • Metallfällung
  • Fluoridentfernung
  • Koagulationseffizienz
  • Polymerleistung
  • Stabilität der biologischen Behandlung

Ammoniak-Stickstoff-Abwasser

Niedrige bis moderate Konzentrationen können biologisch durch Nitrifikation und Denitrifikation behandelt werden. Hochkonzentrierte Ströme erfordern möglicherweise Ammoniakstrippen oder eine separate Vorbehandlung.

Stabiler pH-Wert, Alkalinität, Temperatur und gelöster Sauerstoff sind wichtig. Toxische organische Stoffe und hohe Salzgehalte sollten ebenfalls überwacht werden.

07

Behandlung von organischem Abwasser

Organisches Halbleiterabwasser kann enthalten:

  • Fotolackreste
  • Entwickler
  • Lösungsmittel
  • Tenside
  • Reinigungschemikalien
  • Isopropanol
  • Andere gelöste organische Verbindungen

Auswahl der Behandlung

Biologisch abbaubares Abwasser kann nach Pufferung und pH-Einstellung durch biologische Verfahren behandelt werden.

Ströme mit hohen Konzentrationen an Lösungsmitteln, toxischen Verbindungen oder schlecht biologisch abbaubaren organischen Stoffen erfordern möglicherweise eine physikochemische Vorbehandlung, fortschrittliche Oxidation oder eine separate Rückgewinnung.

Koagulationsmittel können helfen, kolloidale und teilweise unlösliche organische Stoffe zu entfernen, aber es sollte nicht erwartet werden, dass sie alle gelösten organischen Verunreinigungen entfernen.

08

Schlammentwässerung

Die Behandlung von Halbleiterabwasser kann Schlamm erzeugen, der Calciumfluorid, Metallhydroxide, CMP-Partikel, anorganische Koagulationsmittel-Niederschläge und biologische Feststoffe enthält.

Typische Entwässerungsgeräte

  • Filterpressen
  • Bandfilterpressen
  • Zentrifugen
  • Schneckenpressen

Ziel der Polymerauswahl

Kationisches oder anionisches Polyacrylamid kann je nach Schlammzusammenstellung und Entwässerungsgerät ausgewählt werden.

Das richtige Produkt sollte starke Flocken, klare Filtrate, schnellere Drainage und geringere Schlammfeuchtigkeit liefern.

Die niedrigste Polymerdosierung ist nicht immer die wirtschaftlichste Wahl. Die gesamten Schlammhandhabungs- und Entsorgungskosten sollten berücksichtigt werden.
09

Möglichkeiten zur Wasserwiederverwendung

Nicht jedes Halbleiterabwasser sollte demselben endgültigen Ableitungssystem zugeführt werden. Relativ sauberes Spülwasser und behandeltes Prozesswasser können durch eine gestufte Behandlungsstrecke zurückgewonnen werden.

Vorbehandlung

Klärung, Multimediafiltration oder Patronenfiltration.

Membrantrennung

Ultrafiltration und Umkehrosmose.

Fortschrittliche Nachbehandlung

Fortschrittliche Nachbehandlung, Desinfektion oder Oxidation, wo erforderlich.

Potenzielle Wiederverwendung

Kühltürme, Wäscher, Anlagenreinigung, Versorgungssysteme oder Speisewasser für weitere Reinigung.

10

Auswahl von Wasserbehandlungschemikalien

Bei der Auswahl der Chemikalien sollte das vollständige Behandlungsziel und nicht der Kilogrammpreis berücksichtigt werden.

Erforderliche Dosierung
Flockengröße und -stärke
Absetzgeschwindigkeit
Klarheit des Überstands
Schlammvolumen
Schlammfeuchtigkeit
Auswirkung auf die Leitfähigkeit
Membrankompatibilität
Restmetallkonzentration
Chargenübergreifende Stabilität

Bluwat Chemicals kann verschiedene Qualitäten von PAC, PolyDADMAC, Polyamin, Polyacrylamid und Schwermetall-Abscheidemitteln für die Laborevaluierung liefern.

11

Empfohlenes Rührglas-Testverfahren

Ein Labortest im Rührglas kann helfen, die effektivste Chemikalienkombination für jeden getrennten Abwasserstrom zu identifizieren.

Sammeln Sie repräsentatives Abwasser von der tatsächlichen Produktionslinie.
Messen Sie pH-Wert, Trübung, suspendierte Feststoffe und Hauptverunreinigungen.
Stellen Sie den pH-Wert gemäß den Zielbedingungen für Fällung oder Koagulation ein.
Geben Sie das ausgewählte Koagulationsmittel unter schnellem Mischen hinzu.
Geben Sie verdünntes PAM hinzu und reduzieren Sie die Mischgeschwindigkeit.
Beobachten Sie die Flockenbildung, die Absetzgeschwindigkeit und die Klarheit des Überstands.
Testen Sie das behandelte Wasser auf Fluorid, Metalle, CSB oder andere Zielparameter.
Vergleichen Sie die Gesamtkosten der Behandlung und die Schlammeigenschaften.
Das Verfahren sollte je nach Abwasserart angepasst werden. Metall- oder Fluoridfällung muss erfolgen, bevor die endgültige Flockungswirkung bewertet wird.
12

Bluwat Chemische Lösungen für Halbleiterabwasser

Polyaluminiumchlorid

Wird für Koagulation, Entfernung von suspendierten Feststoffen, Klärung und Behandlung bestimmter Fluorid- oder CMP-Abwasserströme verwendet.

PolyDADMAC

Ein kationisches organisches Koagulationsmittel mit hoher Ladung, das zur Ladungsneutralisation, Destabilisierung von Feinpartikeln und Klärung verwendet wird.

Polyamin

Geeignet für Koagulation und die Entfernung bestimmter kolloidaler oder organischer Verunreinigungen.

Polyacrylamid

Erhältlich in anionischen, kationischen und nichtionischen Qualitäten für Flockung, Klärung, Schlammeindickung und -entwässerung.

Schwermetall-Abscheidemittel

Entwickelt zur Unterstützung der Entfernung von Kupfer, Nickel und anderen Schwermetallen, insbesondere dort, wo die konventionelle Fällung allein nicht ausreicht.

Entschäumer

Wird zur Schaumkontrolle in Puffertanks, biologischen Behandlungseinheiten und anderen Abwasserprozessen verwendet.

Schlussfolgerung

Eine effektive Behandlung von Halbleiterabwasser hängt von der Verbindung zwischen Produktion und Wassermanagement ab.

Fluorid, CMP-Partikel, organische Schadstoffe, Ammoniak und Schwermetalle verhalten sich unterschiedlich und erfordern unterschiedliche Behandlungsstrategien. Eine getrennte Sammlung kann den Chemikalienverbrauch senken, die Behandlungsstabilität verbessern, die Ressourcengewinnung unterstützen und mehr Möglichkeiten für die Wasserwiederverwendung schaffen.

Bluwat Chemicals unterstützt Projekte zur Behandlung von Halbleiterabwasser durch Chemikalienauswahl, Probenprüfung und Dosierungsoptimierung für anspruchsvolle Industrieabwässer.